最全面的MEMS传感器详细介绍

　　上制造微型机械，并将其与对应电路集成为一个整体的技术。所以它是以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术平台。

　　优点：相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米，其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度与铝类似，热传导率接近钼和钨。采用与集成电路（IC）类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。

　　如果前面的文字理解不了，从这上面这个传统麦克和MEMS麦克风的图片可以看出来了，之前的七八种机械配件就全部集成在了一块很小的MEMS传感器芯片了了。所以这个体积是非常小，重量也非常轻。由于是芯片制造，一致性好、功耗低，更易于批量生产。但是对技术的要求那就非常高了。

　　其中每一种MEMS传感器又有很多种细分方法。如加速度计，按检验测试质量的运动方式划分，有角振动式和线振动式加速度计等，种类非常之多，常见的MEMS传感器有压力传感器、加速度传感器、微机械陀螺仪、惯性传感器、MEMS硅麦克风等等; MEMS传感器的品种多到可以以万为单位，且不同MEMS之间参量较多，没有完全标准的工艺。这种行业特性让MEMS传感器制造的企业前期的研发投入过大，单品种的销量很难放大。以惯性传感器为例，其市场盈亏平衡规模为月产1000万只，即企业须至少每月生产1000万只惯性传感器才能保持不亏本状态，根据调查，国内绝大多数企业都远低于这一规模。国内最大的纯MEMS传感器公司美新至今是亏损的。所以只有企业做的越大它的赢利能力才越强。

　　MEMS传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种各样的车辆、生特医学及消费电子科技类产品等领域中得到了广泛的应用。MEMS传感器典型应用如下图。

　　在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用;在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统(TPMS)和车辆稳定性控制增强车辆的性能。;医疗领域，通过MEMS传感器研成功制出微型胰岛素注射泵，并使心脏搭桥移植和人工细胞组织成为现实中可实际使用的治疗方式;在可穿戴应用中，MEMS传感器可实现运动追踪、心跳速率测量等。

　　随着电子技术的发展，MEMS的应用领域愈来愈普遍，由最早的工业、军用航空应用走向普通的消费市场。 军用与航空属于所谓的高价值MEMS应用领域，但是这两个领域的用量太小了，一年也就四千万美金左右，增长空间也是有限的。医疗电子上的MEMS器件价值也不错，它的传感器的平均销售价格远高于其它可比的MEMS领域。整体看来，一年高价值MEMS产业的营业收入将达到3亿美元左右。但是应用最广泛的当属于汽车电子产业和消费电子应用市场，这两大领域占了MEMS传感器市场的60%以上。我们下面分析一下这两个主要的应用领域。

　　汽车电子产业被认为是MEMS传感器的第一波应用高潮的推动者，MEMS传感器在汽车上应用的加快速度进行发展主要是受益于各国政府全面推出汽车安全规定（比如要求所有汽车采用TPMS系统）和汽车智慧化的发展的新趋势。全球平均每辆汽车包含10個传感器，在高档汽车中，大约采用25至40只MEMS传感器，车越好，所用的MEMS就越多，BMW740i汽车上就有70多只MEMS。MEMS传感器可满足汽车环境苛刻、可靠性高、精度准确、成本低的要求。其应用方向和市场需求包括车辆的防抱死系统(ABS)、电子车身稳定程序(ESP)、电控悬挂(ECS)、电动手刹(EPB)、斜坡起动辅助(HAS)、胎压监控(EPMS)、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等等。

　　目前，压力传感器、加速计、陀螺仪与流量传感器四类器件合计占汽车MEMS系统的99%。其五年增长率均在3-12%。MEMS压力传感器是汽车中应用最多的传感器，汽车用MEMS压力传感器的价格大概在5~7美元。在汽车领域，MEMS压力传感器营业收入2013年预计达到12.6亿美元，占当年总体产业营业收入的74%。至少18个汽车应用领域将促进压力传感器的增长，包括：轮胎压力，电子稳定控制管理系统中的刹车传感器，侧面气囊，与日益严格的排放标准相关的引擎控制，大气压力与废气再循环压力。

　　按销售额计算，最大的五种汽车MEMS应用按降序排名是：ESC，安全气囊，进气歧管绝对压力(MAP)，TPMS与翻滚探测。

　　总体來看，2010-2015年中国仍将是全球第三大汽车MEMS传感器用戶，领先于日本以及列入“其它地區”的众多国家。北美將继续位居第一，欧洲排名第二。预计2015年总体汽車MEMS销售额將达到30亿美元，比2012年的24亿美元增長25%。中国的汽车MEMS传感器远远快于全球的平均上涨的速度。15年中國汽車MEMS销售额將增长到3.879亿美元，而2010年是1.943亿美元。

　　如表1所示，博世2012年汽车MEMS营业收入高达6.25亿美元，遥遥领先于第二名日本Denso的2.96亿美元。前10名厂商的合计营业收入为21亿美元，去年总体汽车MEMS产业营业收入为23亿美元，10大厂商合计份额接近94%。所以汽车用MEMS的产业集中度是非常高的。没有一家来自中国的厂家。

　　博世在汽车上MEMS传感器的成功不仅是他的技术水平高，产品线非常宽，不仅是最大的压力传感供应商，也是低压领域MEMS的头号供应商，尤其是在电子稳定控制(ESC)系统领域，该公司是加速计、陀螺仪和压力传感器的主要供应商。为了顺应趋势，把加速计与陀螺仪封装在一起(组合式传感器)以降低ESC系统生产商总体成本.

　　随着消费电子领域大发展及产品创新不断涌现，特别是受益于和平板电板的加快速度进行发展，消费电子已经取代汽车领域成为MEMS最大的应用市场。

　　Yole Developpement研究报告预测，2013至2018年间，全球消费电子MEMS传感器市场将以18.5%的年复合增长率增长，到2018年将达到64亿美元。

　　应用中手机和平板电脑中的MEMS传感器几乎占了消费类电子MEMS传感器类市场的90%。市场规模将从2013年的28.5亿美元增长到2019年的64亿美元，出货量将从2013年的58亿颗增长到2019年的189亿颗。

　　MEMS传感器在消费电子领域的应用包括运动/坠落检测、导航数据补偿、游戏/人机界面、电源管理、GPS增强/盲区消除、速度/距离计数等等，这使其渗透力远超于传统意义上的半导体芯片,这些MEMS技术都在很大程度上提高了使用者真实的体验。在所有的领域中，手机是MEMS最大的应用领域。应用最多的传感器是加速计、陀螺仪与MEMS硅麦克风，其中加速度计是该市场中第一大应用产品。而近期陀螺仪增长迅速，慢慢的变成了继加速度计后的第二大应用产品。MEMS麦克风销售额2014年已经接近10亿美元，IHS表示全球MEMS麦克风市场仍将连续5年维持18%的年复合成长率（CAGR）。还有一些MEMS传感器正处于研发阶段或刚进入市场的，例如磁力计、指纹传感器、环境传感器、MEMS手机摄像头等。

　　ST（意法半导体）是全球消费电子与移动终端市场无可争议的冠军。该公司自2009年以来就雄踞榜首，去年强劲增长22%，占总体市场的27%。陀螺仪与加速计是其基本的产品，但是前几大厂家的集中度相对汽车类MEMS又低了不少，还在于消费类MEMS要求相对较低。

　　2013年Bosch的MEMS销售额成长了26%，达到10亿美元；成为了全球MEMS最大供应商，Bosch是知名的车用MEMS供应商，2013年汽车应用市场在该公司整体MEMS销售中占据74%；IHS指出，Bosch的加速度计不只在中国智能手机市场称霸，也供应苹果（Apple）iPhone5s与5c以及iPr。此外Bosch 也是三星（Samsung）手机与平板电脑所使用的压力传感器第一大供应商，该公司已开始量产在单封装结合加速度计与陀螺仪的6轴惯性感测元件（IMU），供应给Sony、三星与 HTC等客户。

　　IHS估计2013年全球MEMS市场销售达到89.6亿美元。2013年全球前二十大MEMS供应商总计营收为69.9亿美元，占据整体市场营收的78%。这个集中度还是非常高的。在这榜上的基本上都是欧美和日系厂家。这个榜单上唯一来自中国的厂商是AAC排名在第十九位，它的销售额主要是来自于MEMS硅麦克风。

　　由于消费电子MEMS传感器价格要求较低，很多厂家并没有进入这个应用领域，这未来留给了中国厂商的机会。排名第29名的是中国的歌尔电子，它的销售额主要是来自于MEMS硅麦克风，是全球排名第三的MEMS硅麦克风。来自另外一家中国MEMS传感器厂家，美新半导体公司并没有上榜，美新半导体公司的2012年的销售额是6400万美金，应该是接近这个榜单。

　　美国著名市场研究公司Yole Développement预测，作为智能感知时代的重要硬件基础， 2014年MEMS传感器市场规模达到130亿美元，预计到2018年，MEMS市场产值将以12%～13%的复合增长率增长至225亿美元，单位出货量达到23.5亿。

　　2014年消费类应用规模达到59亿美元，到2019年预计将超过100亿美元，年复合增长率约11.2%。在未来消费类应用依然会是MEMS传感器市场的最大市场。而成长最快的是医疗市场，将从今年的24.5亿美元增长至2019年的72亿美元左右，年复合增长率近30%!”

　　在今后5到10年内，消费类MEMS主要应用领域仍然是智能手机以及平板电脑。但是MEMS的应用领域将逐渐扩大，包括正在兴起的可穿戴设备、物联网等。虽然可穿戴设备现在它的比例还比较小，目前还不到10%，现在苹果、三星、华为都已经纷纷推出了一些可穿戴式产品，有点像当初的智能手机刚推出进的状态，未来肯定会成为MEMS传感器增长最快的市场还有关于物联网，可能要5到10年以后，智能家居、智能城市有了很好的发展，物联网在MEMS传感器应用方面会有很好的发展，但是在这之前很难看到在物联网方面MEMS传感器的发展。

　　高价值MEMS传感器市场2013年的市场营收从2012年的15亿美元增至16亿美元，预计2013年仍将持续其增长态势，据市场研究机构IHS报告显示，2013年将增长6.3%。其中测试测量、军事和民用航天、医疗电子和工业应用四个领域将会占2013年高价值MEMS市场营收的80%。前十大高价值MEMS供应商所占的市场份额刚刚超过42%。由于高价值MEMS传感器市场的高度分散，21种产品甚至可以用于超过100种不同的应用，为各种集成厂商留下足够的生存空间，在买进这些MEMS半导体之后，集成厂商将其封装为传感器，其平均售价可以达到数万美元。

　　备注：Yole Développement的统计数据比HIS的数据上大了30%，但是他们判断的增长趋势是一样的。这不影响我们的分析。

　　压力传感器广泛应用于汽车和工业市场，如今消费电子市场对其需求量也越来越多，因此压力传感器将继续保持最大的MEMS市场规模。Yole Développement分析师预测，明年MEMS压力传感器市场规模将达到20亿美元，2018年将突破30亿美元。智能手机中使用到很多MEMS器件，如加速度计、陀螺仪、硅麦克风、BAW滤波器和双工器,医疗保健行业使用的生物传感器、微流量传感器应用也很广泛，增长也很快。

　　还有一个特殊的品种组合传感器。随着技术的进步，大家对产品的性能要求也在提升，比如室内导航，单纯使用加速度计的方案就只能准确地描述线性（直线运动）但是如果需要旋转运动（有转弯变化的运动），需要设计者同时用到陀螺仪和加速度计。还有就是本身一个产品会有不同的功能需求，会配置几个MEMS传感器，这些产品设计上空间越来越小，组合使MEMS传感器系统具有天然优势。组合MEMS传感器能节约成本（如加速度计和陀螺仪在一个封装内共享ASIC）。随着消费电子市场对组合式MEMS传感器的需求日益剧增，组合式MEMS传感器市场的发展速度将远远高于其他MEMS器件。国际上大公司InvenSense、ST等都大量的推出了组合传感器。Yole Développement预测：未来6年，组合MEMS传感器的复合年增长率将高达43%，到2018年市场规模将突破20亿美元。

　　根据市场研究机构YoleDéveloppement的报告显示，受到智能手机和微流控应用驱动，新兴MEMS未来6年复合年增长率高达53%，2018年将超过20亿美元，占整个MEMS市场规模的10%。YoleDéveloppement定义的新兴MEMS包括：化学和辐射传感器、扫描微镜、硅基微流控、MEMS开关、触摸屏、AOCMEMS、IDMEMS、能量收集器、微显示器、超声波MEMS、操纵杆、微型燃料电池。

　　中国作为全球最大的电子产品生产基地，消耗了全球四分之一的MEMS器件，吸引了全球的目光。但是就目前来看，中国大部分MEMS及传感器仍依赖进口，在2013年全球top 50 MEMS供应商中国厂商仅有三家，AAC、Goertek和美新。排名最高的AAC销售额也没有超过1亿美金。但是最近六、七年以来，国内对MEMS惯性传感器的研发热度很高，尤其是2005年～2008年，而且大多集中在国内的顶尖研究机构。清华大学、北京大学、中科院、电子26所等，还有一些海外归国人员创下了一些MEMS传感器企业如美新半导体、苏州敏芯微电子、深迪半导体（上海）有限公司等。中国的MEMS产业生态系统也正逐步完善，从研发、开发、设计、代工、封测到应用，产业链已基本形成，上海、苏州、无锡都形成了研发中心。这些MEMS企业虽然出货量低，但是在一些低端消费消域还是有些竟争力了。MEMS麦克风供应商AAC, Goertek, Gettop等通过收购英飞凌的MEMS和ASIC芯片然后自己封装。美新（MEMSIC）的加速度计和磁力计，深迪（Senodia）的磁力计和陀螺仪，明皜（MiraMEMS）加速度计、磁力计、6轴电子罗盘，矽睿（QST）加速度计和磁力计。

　　由于MEMS传感器在消费端的应用已经由高端市场逐步扩散到一些低端手机、可穿戴式设备。这一块的应用市场未来也很大。中国MEMS公司由于与国际大公司的技术差距，未来会集中“进攻”低端消费MEMS领域。在这些要求不高的领域还是有很强的竟争力。

　　MEMS 前端研发需要大量的资金与时间，品种又过多，MEMS 器件很难赢利，像美新、苏州敏芯微电子这些MEMS芯片设计企业直到现在都还没有赢利。这些厂家的最终命运一定是要么在低端消费品市场的竟争中脱颖而出，要么就是积累技术最终被歌尔声学这类厂家收购。

　　MEMS传感器是属于集成电路行业，中央与地方政府开始着力扶持集成电路（芯片）产业，无论从资金规模还是扶持思路上都是空前的。

　　1. 3月5日，国务院总理***在今年两会上的政府工作报告中，首次提到集成电路（芯片）产业。

　　2. 3月4日，上海市经信委则启动了集成电路设计人员专项奖励工作。此外，江苏、深圳等省市可能都将在两会后出台百亿产业基金，由政府牵头，吸纳社会资本。

　　4. 2014年4月23日国家成立了1200亿元国家级芯片产业扶持基金。

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　　市场规模呈稳步上升的趋势，其年复合增长率为11.46%。2017年我国

　　推出汽车安全规定（比如要求所有汽车采用TPMS系统）和汽车智慧化的发展趋势。全球平均每辆汽车包含10個

　　的数量将达到万亿级，其价值是不可估量的。随着汽车、消费电子和医疗电子的发展，国内市场对

　　的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型

　　发展到今天，小型化、智能化、集成化，已经是升级换代的必由之路。今天，我们来为大家

　　即微机电系统 （Microelectro Mechanical Systems）， 与传统的

　　相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现

　　是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

　　(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微机电系统的缩写，

　　技术建立在微米/纳米基础上，是对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术，完整的

　　、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。

　　加速度计和陀螺仪的工业系统而言，优化带宽可能是关键考虑因素。这代表着精度(噪声)与响应时间之间的一种经典权衡。虽然多数

　　的一个挑战。”全球领先的高性能信号处理解决方案供应商ADI的汽车电子行业中国区市场经理许智斌先生

　　）技术在微型化技术基础上，结合了电子、机械、材料等多种学科交叉融合的前沿科研领域的不断发展与成熟，从而出现了很多基于

　　具有体积小、重量轻、低功耗、多功能等优点，在电子产品、航空航天、机械化工等行业中得到了广泛应用。

　　，极具诱惑力的价格配合卓越的产品性能，让意法半导体迅速扩大了在消费电子

　　（Micro-Electro-Mechanical System）是指集机械元素、微型

　　以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。

　　解决方案的过程中，对于急救任务的高度复杂性以及各种极端环境带来的挑战，必须要有

　　了解。程序火灾搜救任务必须严格按照救援程序执行，同时必须适应完全不确定的现实生活场景。可部署

　　器件。它们在物联网（IoT）中有非常广泛的应用，从气象监测到室内资产跟踪。

　　了通过体加工和表面加工方法、利用压阻、电容和光学技术制备的基于洛伦兹力的

　　的灵敏度、品质因子、噪声和探测极限等特性。随着纳米技术、集成化技术以及封装技术的不断发展，更多高性能、同时可监测多个物理量的智能

　　的录音机。该设计使用户能够轻松体验立体声/单声道音频数据采集和存储，以便通过I2S或PDM接口进行进一步处理

　　用于在汽车正常行驶时监控发动机内部液体的黏度，通过监测汽油和传动液的液体粘稠度，向司机提供反馈信息。此外，

　　示波器的原理、使用，以及各性能术语详解。实乃不可多得的教材之一，堪称史上

　　、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优势，它们慢慢的开始逐步取代基于传统机电技术的压力

　　可以形成相对简单的系统，这种系统本身就比较稳定。尽管如此，开环工作时的系统对

　　是目前最为成功并最具实用性的微型机电器件，主要包括利用微型膜片的机械形变产生电信号输出的微型压力

　　的安装对频率响应会造成影响么？如果有影响，怎样选择合适方法减小这种影响？ 谢谢！

　　的应用随着消费电子领域大发展及产品创新不断涌现，特别是受益于智能手机和平板电板的快速发展，消费电子已经取代汽车领域成为

　　) 是一个强大的注册表清理工具，内含8种主要工具。操作简单，使用方便；并且功能强大，远超其它注册表清理工具。可说是多功能的注册表垃圾清除工具

　　），以及温度校正处理、控制电路等的集成电路（※ASIC）集成在一个封装里，可以轻松获得高精度的气压信息。※

　　的发展总体趋势是智能化、微型化、集成化、多功能化以及新材料和新工艺制成的新型

　　推出汽车安全规定（比如要求所有汽车采用TPMS系统）和汽车智慧化的发展趋势。全球平均每辆汽车包含10個

　　技术的突破也为医疗应用带来前所未有的便利性和体验。随着人口的老龄化，人们的医疗保健问题变的空前重要。人们的医疗保健问题变的空前重要。体外诊断、药物研究、病患监测、给药方式以及植入式

　　应用在航空航天领域，要求适应在不同的空间环境，包括：真空、电磁辐射、高能粒子辐射、等离子体、微流星体、行星大气、磁场和引力场等，以及航天

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