2024年5月10日，深圳市海谱纳米光学科技有限公司（以下简称海谱纳米）宣布取得重大技术突破，业内首次实现了基于MEMS技术的短波红外高光谱相机的量产。

　　如上图所示，短波红外成像技术（SWIR）源自于光谱学和红外辐射物理学，是一种基于红外辐射波长范围的先进成像技术，通常将它定义为波长范围为 900nm-1700nm 的光，这一光谱区域主要记录了有机物、或者大分子基团中的含氢基团(如C-H、O-H、N-H等)的倍频和合频振动信息,例如包含有水分、脂肪、蛋白质、糖的特征信息，因此非常适合于有机物和生物分子的分析。这一波段的红外辐射具有十分特殊的能力，它能够穿透大多数材料，如雾霾、烟雾、塑料和玻璃等，同时能在低照明条件下工作，这使得它在复杂环境下表现出色。

　　如下图所示，海谱纳米的短波红外高光谱成像技术（SWIR-HSI）基于Fabry-Perot干涉原理，在图像传感器前面放置可连续选择光谱波段的可调谐滤波器，通过对SWIR的不同波段的光进行滤波（其滤光曲线如下图所示），快速收集每个光谱带通的完整图像生成三维光谱立方体数据。该立方体数据包含了和物质成分相关的光谱信息和物体形状相关的图像信息。能够高效、准确、抗干扰地定位不同物质在图像中的位置，且分析不同物质的成分及含量。成功研发该波段的高光谱相机，能拓宽高光谱相机在图像及物质检验测试领域的应用，例如农业、食品、造纸、木材、化妆品行业和生物医学成像。

　　高光谱机器视觉的发展对机器人的控制具备极其重大作用，SWIR高光谱相机可检测肉眼不可见的产品缺陷及特定材料特性，能够在一定程度上帮助机器人在不同环境下采集物质成分的信息，为机器视觉解决方案开辟了广泛的应用空间，让终端更好地看懂世界。

　　在SWIR高光谱相机成像中可以清晰检测到水果中的水分含量，并能轻松实现局部缺陷的检测。如图所示，使用1450nm成像进行仔细的检测，苹果有损伤的地方呈现的颜色比较深，而正常位置呈现的颜色比较浅。

　　SWIR高光谱相机能够适用于识别人的伪装，如化妆、假发和眼镜等。SWIR高光谱成像利用900~1700nm红外光谱的特性来探测物体的反射和辐射特征，能够穿透伪装材料并获取物体的真实信息。

　　海谱纳米成立于2019年，是一家专注于MEMS高光谱传感器设计、研发和生产的高新技术企业。公司核心技术源于原欧盟宇航局传感器专家，全球第一款高光谱MEMS芯片发明人，拥有二十余年的工艺开发、生产制造和FAB管理经验。海谱纳米自主研发并量产出全球首款可动镜面工艺的微型高光谱成像MEMS-FPI芯片，构建了领先全球的MEMS微型高光谱传感器及解决方案，致力于解决物理世界中化学成分无法数字化的问题，推动消费级产品应用的快速拓展和成熟。